发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STABILEN, NIEDEROHMIGEN KONTAKTEN IN INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号 AT54227(T) 申请公布日期 1990.07.15
申请号 AT19840104577T 申请日期 1984.04.24
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WIDMANN, DIETRICH, DR.-ING.;SIGUSCH, REINER DIPL.-ING. (FH)
分类号 H01L21/60;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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