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发明名称
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STABILEN, NIEDEROHMIGEN KONTAKTEN IN INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号
AT54227(T)
申请公布日期
1990.07.15
申请号
AT19840104577T
申请日期
1984.04.24
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
WIDMANN, DIETRICH, DR.-ING.;SIGUSCH, REINER DIPL.-ING. (FH)
分类号
H01L21/60;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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