发明名称 APPARATUS FOR DETECTING MOISTURE ABSORPTION DEFECT IN RESIN SEALED TYPE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH02179485(A) 申请公布日期 1990.07.12
申请号 JP19880334606 申请日期 1988.12.28
申请人 YAMAZAKI SEIKI KENKYUSHO:KK 发明人 YAMAZAKI SHOHACHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/56 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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