发明名称 COOLING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02180057(A) 申请公布日期 1990.07.12
申请号 JP19890000194 申请日期 1989.01.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIDA TAKASHI;YAMASHITA MANABU
分类号 H01L23/373;H01L23/427 主分类号 H01L23/373
代理机构 代理人
主权项
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