| 摘要 |
<p>Es wird ein Mikroskop mit einer Köhler'schen Beleuchtungseinrichtung beschrieben, das einen zumindest angenäherten Unendlich-Strahlengang (17) aufweist. In der Leuchtfeldblendenebene (LF) ist ein optischer Spalt (6) vorgesehen, dem im Unendlich-Strahlengang (17) ein optisches Transmissionsgitter (12) nachgeordnet ist. Die dadurch erzeugten Beugungsbilder der nullten und ersten Ordnung werden wahlweise gleichzeitig oder nacheinander auf einem Sensor (13) abgebildet. Durch dem Sensor (13) nachgeschaltete Auswerteeinrichtungen wird die spektrale und densitometrische Verteilung in einem vorgewählten Objekt (10a) bestimmt. Dabei lassen sich beispielsweise über die densitometrische Verteilung die Breite und über die spektrale Verteilung die Höhe eines Objekts gleichzeitig ermitteln.</p> |
