发明名称 ULTRASAUBERES EPITAXIALES SILICIUM UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3381626(D1) 申请公布日期 1990.07.12
申请号 DE19833381626 申请日期 1983.07.11
申请人 J.C. SCHUMACHER CO., OCEANSIDE, CALIF., US 发明人 SCHUMACHER, JOHN C., CARLSBAD, CA 92008, US
分类号 C01B33/02;C30B25/02;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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