发明名称 SOURCE DRAIN DOPING TECHNIQUE
摘要
申请公布号 GB2197532(B) 申请公布日期 1990.07.11
申请号 GB19870012515 申请日期 1987.05.28
申请人 * INTEL CORPORATION 发明人 BEEN-JON * WOO;MARK A * HOLLER;ENDER * HOKELEK;SANDRA S * LEE
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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