| 发明名称 |
PROCESS FOR SELF-HEALING DIELECTRICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0073713(B1) |
申请公布日期 |
1990.07.11 |
| 申请号 |
EP19820401570 |
申请日期 |
1982.08.24 |
| 申请人 |
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION |
发明人 |
TICKLE, ANDREW C. |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/326;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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