发明名称 TEIJUTENGARASUSOSEIBUTSU
摘要
申请公布号 JPH0231016(B2) 申请公布日期 1990.07.11
申请号 JP19810177621 申请日期 1981.11.05
申请人 NIPPON PETROCHEMICALS CO LTD 发明人 ISHAMA TAKAO;YAMAZAKI HIROYOSHI;UENO HIROAKI
分类号 C03C3/066;C03C3/32;C03C8/16;C03C8/24;C03C27/10;H01L23/02 主分类号 C03C3/066
代理机构 代理人
主权项
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