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发明名称 PHASE-SPLITTING DRIVE OF PLASMA ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH02177429(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19890211571 申请日期 1989.08.18
申请人 RAMU RES CORP 发明人 JIYON OGURU;JIERARUDO IN
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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