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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02177534(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880332406 申请日期 1988.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUOKA HIDETATSU
分类号 C30B1/08;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/263;H01L27/00 主分类号 C30B1/08
代理机构 代理人
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