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发明名称 WAFER PERIPHERY ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH02177421(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880329308 申请日期 1988.12.28
申请人 USHIO INC 发明人 SUZUKI SHINJI;ARAI TETSUHARU
分类号 G02B6/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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