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发明名称
MANUFACTURE OF JOSEPHSON ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH02177484(A)
申请公布日期
1990.07.10
申请号
JP19880332094
申请日期
1988.12.28
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
发明人
TAKEMURA YASUHIKO;HONGO MASAFUMI
分类号
H01L39/22;H01L39/24
主分类号
H01L39/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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