发明名称 |
DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE, DIELECTRIC ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02177454(A) |
申请公布日期 |
1990.07.10 |
申请号 |
JP19880328917 |
申请日期 |
1988.12.28 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
FUKUDA KIYOSHI;FURUKAWA KAZUYOSHI;TANZAWA KATSUJIRO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/04;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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