发明名称 DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE, DIELECTRIC ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02177454(A) 申请公布日期 1990.07.10
申请号 JP19880328917 申请日期 1988.12.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKUDA KIYOSHI;FURUKAWA KAZUYOSHI;TANZAWA KATSUJIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/04;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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