| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE HAVING IMPROVED MICROWAVE INTRODUCING WINDOW |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02175878(A) |
申请公布日期 |
1990.07.09 |
| 申请号 |
JP19880329311 |
申请日期 |
1988.12.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OTOSHI HIROKAZU;SAITO KEISHI;OKAMURA TATSUJI;MATSUDA KOICHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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