| 发明名称 |
FORMATION OF ALKALINE EARTH METAL ION SOURCE AND ALKALINE EARTH METAL ION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02175861(A) |
申请公布日期 |
1990.07.09 |
| 申请号 |
JP19880137514 |
申请日期 |
1988.06.06 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TSUKAGOSHI OSAMU |
| 分类号 |
C23C14/22;H01J27/22;H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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