| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING REACTION TUBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02175875(A) |
申请公布日期 |
1990.07.09 |
| 申请号 |
JP19880329603 |
申请日期 |
1988.12.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HAYASHI YOSHINOBU;JINNAI SHINPEI;USHIKAWA HARUNORI;SHIRATANI ISAO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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