发明名称 QUARTZ CRUCIBLE FOR PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02175687(A) 申请公布日期 1990.07.06
申请号 JP19880331926 申请日期 1988.12.28
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 TSUJI YOSHIYUKI;WATANABE NOBUYA
分类号 C30B15/10;C03B20/00;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项
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