发明名称 |
QUARTZ CRUCIBLE FOR PULLING SILICON SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02175687(A) |
申请公布日期 |
1990.07.06 |
申请号 |
JP19880331926 |
申请日期 |
1988.12.28 |
申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
TSUJI YOSHIYUKI;WATANABE NOBUYA |
分类号 |
C30B15/10;C03B20/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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