发明名称 |
MASTER SLICE FOR SWITCHED CAPACITOR FILTER USE AND MANUFACTURE OF THE FILTER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02174157(A) |
申请公布日期 |
1990.07.05 |
申请号 |
JP19880326066 |
申请日期 |
1988.12.26 |
申请人 |
ASAHI KASEI MICRO SYST KK |
发明人 |
KAWADA IZUMI;ADACHI TOSHIO;IWAMOTO SHIGENARI |
分类号 |
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 |
主分类号 |
H01L21/822 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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