发明名称 MASTER SLICE FOR SWITCHED CAPACITOR FILTER USE AND MANUFACTURE OF THE FILTER
摘要
申请公布号 JPH02174157(A) 申请公布日期 1990.07.05
申请号 JP19880326066 申请日期 1988.12.26
申请人 ASAHI KASEI MICRO SYST KK 发明人 KAWADA IZUMI;ADACHI TOSHIO;IWAMOTO SHIGENARI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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