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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02174164(A) 申请公布日期 1990.07.05
申请号 JP19880328272 申请日期 1988.12.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SASAKI TOMOYUKI;KAMEI ICHIZO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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