发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02174140(A) 申请公布日期 1990.07.05
申请号 JP19880325921 申请日期 1988.12.26
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKABE YUTAKA;FUKUDA HISASHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址
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