| 发明名称 |
CRYSTAL FILM THICKNESS MONITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02174411(A) |
申请公布日期 |
1990.07.05 |
| 申请号 |
JP19880330244 |
申请日期 |
1988.12.27 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SHIMODA YOSHIO;UNO TAKEHIKO |
| 分类号 |
H03H3/02;C01B33/12;C23C14/54;G01B17/02 |
主分类号 |
H03H3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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