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发明名称 KATODENZERSTAEUBUNGSVORRICHTUNG NACH DEM MAGNETRON-PRINZIP MIT EINER HOHLKATODE UND EINEM ZYLINDRISCHEN TARGET
摘要
申请公布号 DE3844064(A1) 申请公布日期 1990.07.05
申请号 DE19883844064 申请日期 1988.12.28
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 AICHERT, HANS, DR., 6450 HANAU, DE;GEGENWART, RAINER, DR., 6074 ROEDERMARK, DE;KUKLA, REINER, DIPL.-PHYS., 6450 HANAU, DE;WILMES, KLAUS, DIPL.-ING., 6482 BAD ORB, DE;KIESER, JOERG, DR., 8550 FORCHHEIM, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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