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发明名称 PLASMA REACTOR VESSEL AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP0184917(B1) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 EP19850308526 申请日期 1985.11.25
申请人 STC PLC 发明人 HEINECKE, RUDOLF AUGUST;OJHA, SURESHCHANDRA MISHRILAL;LLEWELLYN, IAN PAUL
分类号 H01L21/302;C23C16/50;C23C16/515;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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