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发明名称 PHOTON ASSISTED CVD APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 GB9010638(D0) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 GB19900010638 申请日期 1990.05.11
申请人 SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE, THE 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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