| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02173258(A) |
申请公布日期 |
1990.07.04 |
| 申请号 |
JP19880327057 |
申请日期 |
1988.12.24 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MICHIGAMI OSAMU;ASAHI MASAYOSHI;ASANO HIDEFUMI;KATO YUJIRO |
| 分类号 |
C01G3/00;C01G1/00;C01G15/00;C01G29/00;C23C14/34;C30B23/08;C30B29/22;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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