发明名称 COMPOSITE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02172899(A) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 JP19880323612 申请日期 1988.12.23
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMAGUCHI MASASHI;SUGO MITSURU;ITO YOSHIO
分类号 C30B29/40;C30B29/48;C30B29/68;H01L21/20;H01L21/36;H01L29/201;H01L29/221 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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