发明名称 |
COMPOSITE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02172899(A) |
申请公布日期 |
1990.07.04 |
申请号 |
JP19880323612 |
申请日期 |
1988.12.23 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMAGUCHI MASASHI;SUGO MITSURU;ITO YOSHIO |
分类号 |
C30B29/40;C30B29/48;C30B29/68;H01L21/20;H01L21/36;H01L29/201;H01L29/221 |
主分类号 |
C30B29/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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