发明名称 |
APPARATUS AND METHODS FOR INSPECTION OF ELECTRICAL MATERIALS AND COMPONENTS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2192067(B) |
申请公布日期 |
1990.07.04 |
申请号 |
GB19870012932 |
申请日期 |
1987.06.02 |
申请人 |
* NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION |
发明人 |
CHARLES WILLIAM * TURNER |
分类号 |
H01L21/66;G01R29/12;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/309;H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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