发明名称 APPARATUS AND METHODS FOR INSPECTION OF ELECTRICAL MATERIALS AND COMPONENTS
摘要
申请公布号 GB2192067(B) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 GB19870012932 申请日期 1987.06.02
申请人 * NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人 CHARLES WILLIAM * TURNER
分类号 H01L21/66;G01R29/12;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;G01R31/309;H05K3/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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