发明名称 |
IMPROVED PLASMA STRIPPER WITH MULTIPLE CONTACT POINT CATHODE |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0275188(A3) |
申请公布日期 |
1990.07.04 |
申请号 |
EP19880300242 |
申请日期 |
1988.01.12 |
申请人 |
OLIN CORPORATION |
发明人 |
WHITLOCK, MICHAEL GENE;LETTIRE, KEVIN CHARLES |
分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|