Polymeric chlorosilazanes, process for preparing them, ceramic materials containing silicon nitride derived from these polymers and method for making these materials.

摘要

Die Erfindung betrifft neue polymere Chlorsilazane, ihre Herstellung, ihre Weiterverarbeitung zu Siliziumnitrid enthaltendem keramischem Material, sowie dieses Material selbst. Zur Herstellung der polymeren Chlorsilazane wird eine Mischung aus Oligosilazanen der Formel (I) <IMAGE> worin n etwa 2 bis etwa 12 ist, und Oligosilazanen der Formel (II) (RSiHNH)m, worin m etwa 3 bis etwa 12 ist, mit mindestens einem der Chlorsilane Cl2R²Si-CH2-CH2-SiR²Cl2, Cl3Si-CH2-CH2-SiR³Cl2, R<4>SiCl3 oder R<5>SiHCl2 bei 30°C bis 300°C umsetzt, wobei R und R¹ bis R<5> C1-C6-Alkyl- oder C2-C6-Alkenylgruppen sind, die gleich oder verschieden sein können. Die erfindungsgemäßen polymeren Chlorsilazane können durch Umsetzung mit Ammoniak in Polysilazane umgewandelt werden, die ihrerseits zu Siliziumnitrid enthaltenden keramischen Materialien pyrolysiert werden können.