发明名称 PROCESS FOR MAKING AN INVERTED SILICON-ON-INSULATOR SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A PEDESTAL STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0301223(A3) 申请公布日期 1990.07.04
申请号 EP19880109660 申请日期 1988.06.16
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 KOURY, DANIEL N., JR.
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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