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发明名称
PROCESS FOR MAKING AN INVERTED SILICON-ON-INSULATOR SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A PEDESTAL STRUCTURE
摘要
申请公布号
EP0301223(A3)
申请公布日期
1990.07.04
申请号
EP19880109660
申请日期
1988.06.16
申请人
MOTOROLA INC.
发明人
KOURY, DANIEL N., JR.
分类号
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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