发明名称 SI-CONTAINING SIC HEATER
摘要
申请公布号 JPH02172177(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880326235 申请日期 1988.12.26
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 NOZAWA TATSUO;TABEI TAKAHIRO;KITAZAWA ATSUO;MEGURO KAZUNORI
分类号 H05B3/14 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人
主权项
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