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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02172271(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880326494 申请日期 1988.12.24
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 HISAE KENJI;SATO NAOHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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