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发明名称 MASTER-SLICE METHOD INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02172257(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880326507 申请日期 1988.12.25
申请人 NEC CORP 发明人 AYABE TOSHIJI
分类号 H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/118 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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