发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02172218(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880325896 申请日期 1988.12.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUNASHIMA YOSHITAKA;YAMABE KIKUO
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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