发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02172221(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880326821 申请日期 1988.12.23
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/285;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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