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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02172221(A)
申请公布日期
1990.07.03
申请号
JP19880326821
申请日期
1988.12.23
申请人
NEC CORP
发明人
HAYASHI YOSHIHIRO
分类号
H01L21/285;H01L21/321;H01L21/60
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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