发明名称 DIE-BONDING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH02172238(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880327184 申请日期 1988.12.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NISHIGUCHI KATSUNORI;GOTO NOBORU
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址