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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02170971(A)
申请公布日期
1990.07.02
申请号
JP19880327343
申请日期
1988.12.23
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
IHARADA KENJI;KITA JUNICHI;YOSHII MITSUYOSHI;YAMADA YASUHARU;SHINADA MEGUMI
分类号
C23C14/34;H01B12/06;H01L21/203;H01L39/24
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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