发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02170571(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880323533 申请日期 1988.12.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HAYASAKA NOBUHITO
分类号 H01L21/761;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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