| 发明名称 |
MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02170311(A) |
申请公布日期 |
1990.07.02 |
| 申请号 |
JP19880323297 |
申请日期 |
1988.12.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUKAMOTO AKIRA;HONDA YUKIO;AIDA TOSHIYUKI;FUKAZAWA TOKUMI;MIYAUCHI KATSUMI |
| 分类号 |
C04B41/80;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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