| 发明名称 |
DEVICE FOR COMPARATIVE INSPECTION OF WAFER APPEARANCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02170549(A) |
申请公布日期 |
1990.07.02 |
| 申请号 |
JP19880325361 |
申请日期 |
1988.12.23 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
NAKAHIRA MAMORU;WAKAO IKUTAROU |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
