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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02170423(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880325228 申请日期 1988.12.22
申请人 NEC CORP 发明人 HONMA ICHIRO
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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