| 发明名称 |
PROCESS FOR OBTAINING SILICIUM NITRIDE WITH HIGH CONTENT OF ALPHA PHASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
YU100089(A) |
申请公布日期 |
1990.06.30 |
| 申请号 |
YU19890001000 |
申请日期 |
1989.05.15 |
| 申请人 |
INST STRUTURNOI MARKOINET AN |
发明人 |
MEZHANOV A.G;BOROVINSKAYA I.P;POPOV L.S;MAKHONINA N.S;KUSTOVA L.V |
| 分类号 |
C01B21/068;C04B35/591;(IPC1-7):C01B21/06 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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