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发明名称 MEASURING METHOD FOR FILM THICKNESS OF SEMICONDUCTOR MULTILAYERED THIN FILM OF HETEROJUNCTION THIN FILM MULTILAYERED STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH02170008(A) 申请公布日期 1990.06.29
申请号 JP19880326432 申请日期 1988.12.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAGAWA MASAHIRO;SHIRAKAWA FUTATSU;TAKEBE TOSHIHIKO
分类号 G01B11/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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