VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VON EINER ISOLIERENDEN SCHICHT BEDECKTEN SCHICHT AUS EINEM FEUERFESTEN METALLSILIZID AUF EINEM SUBSTRAT, INSBESONDERE GEEIGNET FUER DIE HERSTELLUNG VON SCHICHTEN ZUR VERBINDUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN.,申请号DE19863671579-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VON EINER ISOLIERENDEN SCHICHT BEDECKTEN SCHICHT AUS EINEM FEUERFESTEN METALLSILIZID AUF EINEM SUBSTRAT, INSBESONDERE GEEIGNET FUER DIE HERSTELLUNG VON SCHICHTEN ZUR VERBINDUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号	DE3671579(D1)	申请公布日期	1990.06.28
申请号	DE19863671579	申请日期	1986.02.25
申请人	CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.), PARIS, FR	发明人	DENEUVILLE, ALAIN, F-38120 SAINT EGREVE, FR;MANDEVILLE, PIERRE, MONTREAL H2H267, CA
分类号	H01L21/28;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/52;H01L21/90	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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