发明名称 METHOD FOR GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02167895(A) 申请公布日期 1990.06.28
申请号 JP19880325061 申请日期 1988.12.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KITAHARA KUNINORI;OTSUKA NOBUYUKI;FUNAKURA MASATO
分类号 C30B23/08;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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