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发明名称
PHOTORESISTFILM MIT LOESLICHER ZWISCHENSCHICHT
摘要
申请公布号
DE3842028(A1)
申请公布日期
1990.06.28
申请号
DE19883842028
申请日期
1988.12.14
申请人
BASF AG, 6700 LUDWIGSHAFEN, DE
发明人
SEITZ, FRIEDRICH, DR., 6701 FRIEDELSHEIM, DE;HUEMMER, WOLFGANG, DR., 6703 LIMBURGERHOF, DE;ZUERGER, MANFRED, 6920 SINSHEIM, DE
分类号
G03F7/004;G03F7/11;H05K3/00;H05K3/06
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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