发明名称
摘要
申请公布号 JPH0283433(U) 申请公布日期 1990.06.28
申请号 JP19880163417U 申请日期 1988.12.19
申请人 发明人
分类号 G01J3/02;G01J3/427;H01L31/02;H01L31/0232;(IPC1-7):G01J3/427;H01L31/023 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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