| 摘要 |
<p>Bei dem Verfahren wird zunächst auf dem mit der Vertiefung (12) versehenen Substrat (3) ein schichtförmiges Vorprodukt (22) der herzustellenden Schicht unter Ausbildung einer der Substratvertiefung (12) entsprechenden Absenkung (25) abgeschieden. Dann wird die Absenkung (25) des Vorproduktes (22) weitgehend mit einer Hilfsschicht (26) ausgefüllt, wobei schmale rinnenartige Gräben (29) verbleiben. Anschließend wird dieser Aufbau mit einer hinreichend dicken Einebnungsschicht (30) versehen, wobei die Gräben (29) mit ausgefüllt werden. Schließlich werden die Einebnungsschicht (30) und die Hilfsschicht (26) vollständig sowie der aus der Substratvertiefung (12) herausragende Teil des Vorproduktes (22) bis zu der Ebene der Oberkante der Substratvertiefung (12) abgeätzt.</p> |
