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发明名称 MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02166725(A) 申请公布日期 1990.06.27
申请号 JP19880322949 申请日期 1988.12.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 USUI TAIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/203;H01L21/208;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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