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发明名称 EXPOSING DEVICE FOR SAW RESONATOR RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02166816(A) 申请公布日期 1990.06.27
申请号 JP19880321646 申请日期 1988.12.20
申请人 YOKOGAWA MEDICAL SYST LTD 发明人 TAKEUCHI YASUTO
分类号 H03H3/08 主分类号 H03H3/08
代理机构 代理人
主权项
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